北京師范大學(xué)光電儀器廠UV-340輻照計(jì)用于測(cè)量315~370nm波段中心波長(zhǎng)為340nm紫外線輻照強(qiáng)度,測(cè)量范圍0.1~199.9x10^3 μW/cm2,示值誤差±8%,適用于光化學(xué)、高分子材料老化、以及大規(guī)模集成電路PCB光刻固化等紫外光源強(qiáng)度測(cè)量驗(yàn)證,另有UV-313型號(hào)峰值波長(zhǎng)313nm。
光阻劑廣泛用于PCB線路板行業(yè),通過(guò)其使用蝕刻化學(xué)品來(lái)布置電路連接或印刷電路板跡線,也被用于半導(dǎo)體工業(yè),它是用于形成單個(gè)半導(dǎo)體器件的微小電路的微圖案的光刻生產(chǎn)中的關(guān)鍵步驟。Photoresist光刻膠工藝過(guò)程控制光線輻射強(qiáng)度和曝光時(shí)間至關(guān)重要,它可以避免在加工和生產(chǎn)過(guò)程中光刻膠的浪費(fèi)性下曝光或曝光過(guò)度。為了保持這些設(shè)置,需要具有盡可能接近光阻劑作用光譜的測(cè)光表來(lái)精確地知道光致抗蝕劑曝光的程度。在暴露于紫外線的條件下對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行固化,同時(shí)又快又經(jīng)濟(jì),需要仔細(xì)控制曝光過(guò)程,例如光源的光譜輸出、強(qiáng)度等級(jí)和曝光時(shí)間。
北京師范大學(xué)光電儀器廠致力于光輻射測(cè)量?jī)x器的研發(fā),已成為國(guó)內(nèi)在該方向最有影響的單位之一,專業(yè)生產(chǎn)光照度計(jì)、光亮度計(jì)、輻照計(jì)、紫外輻照計(jì)、光譜光度計(jì)、LED光強(qiáng)計(jì)等光輻射和顏色測(cè)量?jī)x器,廣泛應(yīng)用于工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)療衛(wèi)生、 科學(xué)研究等領(lǐng)域, 至今累計(jì)推向市場(chǎng)的各種儀器在50000臺(tái)/件以上。其中,光照度計(jì)、紫外輻照計(jì)等產(chǎn)品是國(guó)家檢定目錄上的計(jì)量?jī)x器, 客戶群體包括中國(guó)科學(xué)院、中國(guó)計(jì)量院、航天一院、航天二院、航天五院、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等國(guó)內(nèi)知名院所和高校。北師大光電UV-340紫外輻照計(jì)測(cè)量響應(yīng)波段315~370nm,中心波長(zhǎng)λP=340nm,量程范圍199.9x10^3μW/cm2,分辨率μW/cm2,精度<±8.0%??商峁┐k中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院第三方計(jì)量檢測(cè)報(bào)告,計(jì)量費(fèi)用按標(biāo)準(zhǔn)實(shí)收,檢測(cè)周期為十至十五個(gè)工作日。
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
型號(hào)及測(cè)量波長(zhǎng) |
UV-313紫外照度計(jì)響應(yīng)波長(zhǎng)范圍290~340nm,峰值波長(zhǎng)λP=313nm UV-340輻照計(jì)響應(yīng)波段315~370nm,中心波長(zhǎng)λP=340nm |
輻照度測(cè)量范圍 |
0.1~199.9x10^3 μW/cm2 1μw/cm2 = 0.001mw/cm2 1μw/cm2 = 0.01 w/m2 |
零值誤差(滿量程FS) | <滿量程的±1.0% |
長(zhǎng)波響應(yīng)誤差 | <15% |
余弦特性(方向性響應(yīng))誤差 | <10% |
非線性誤差 | <±1.5% |
換檔誤差 | <±1.0% |
疲勞誤差 | <3.0% |
相對(duì)示值誤差 | <±8.0%(相對(duì)于NIM標(biāo)準(zhǔn)) |
響應(yīng)時(shí)間 | <1秒 |
使用環(huán)境 | 溫度(0~40)℃;濕度<85%RH |
尺寸和重量 | 160mm×78mm×43mm;0.2kg |
電源 | 6F22型9V積層電池(非充電電池),整機(jī)功耗<0.1VA |
裝箱清單 | 主機(jī)、探頭、探頭蓋、數(shù)據(jù)線、說(shuō)明書(shū)、合格證/保修單、9V積層電池、儀器箱 |
照度計(jì) | 照度計(jì) | ST-80C,老款手動(dòng)量程范圍0.1~199900lx | 手動(dòng)量程 |
照度計(jì) | ST-85數(shù)字照度計(jì),范圍0.1~199900lx | 自動(dòng)量程 | |
弱光照度計(jì) | ST-86L | 手動(dòng)量程 | |
弱光照度計(jì) | ST-86L(驗(yàn)光儀用) | 自動(dòng)量程 | |
亮度計(jì) | 屏幕亮度計(jì) | ST-86LA(10-1),默認(rèn),分辨率0.1cd/㎡ | 自動(dòng)量程 |
屏幕亮度計(jì) | ST-86LA(10-2),分辨率0.01cd/㎡ | 自動(dòng)量程 | |
屏幕亮度計(jì) | ST-86LA(10-3),分辨率0.01cd/㎡ | 自動(dòng)量程 | |
紫外輻照計(jì) | UVA波段 | UV-A紫外輻照計(jì)(單通道),365nm標(biāo)配、420nm探頭可選 | 自動(dòng)量程 |
UV-A(雙通道),365nm/420nm探頭各一個(gè) | 自動(dòng)量程 | ||
UVB波段 | UV-B紫外照度計(jì)(單通道),254nm標(biāo)配/297nm探頭可選 | 自動(dòng)量程 | |
UV-B(雙通道),254nm/297nm探頭各一個(gè) | 自動(dòng)量程 | ||
313nm納米 | UV-313輻照計(jì),313nm中心波長(zhǎng)、響應(yīng)290-240nm | 自動(dòng)量程 | |
340nm納米 | UV-340紫外線輻照計(jì),340nm中心波長(zhǎng)、響應(yīng)315~370nm波段 | 自動(dòng)量程 | |
定制UVA/UVB | 定制365nm、297nm雙通道,或定制254nm、365nm雙通道紫外輻照計(jì) | 自動(dòng)量程 | |
定制雙通道型 | 定制313nm、340nm雙通道輻照計(jì) | 自動(dòng)量程 | |
其他輻照計(jì) | 紫外/可見(jiàn)光照度計(jì) | 特殊定制波段范圍 | 自動(dòng)量程 |
可見(jiàn)光 | FZ-A可見(jiàn)光波長(zhǎng)輻照度測(cè)量?jī)x,波長(zhǎng)范圍400~1000nm(另可訂725~1050nm | 自動(dòng)量程 | |
光合輻射 | FGH-1光合輻射計(jì),模擬光合有效函數(shù) | 自動(dòng)量程 | |
藍(lán)光輻射 | FL-1D藍(lán)光輻射計(jì) | 自動(dòng)量程 | |
發(fā)光二極管 | ST-86LB發(fā)光光強(qiáng)計(jì) | 自動(dòng)量程 |