Virtual VWT系列特氟龍涂層晶圓吸盤為鋁制聚四氟乙烯涂層材料,可承受250℃高溫,通過(guò)長(zhǎng)管和配件連接電池式真空吸筆,用來(lái)處理硅晶片、載片、玻璃等平面器件,VWT-250125PF可用于吸取8” 200mm wafers晶片。
美國(guó)Vitual專注于真空吸取搬運(yùn)解決方案,提供各種晶圓吸筆用于處理硅晶片、晶圓、電池片、藍(lán)寶石晶片、外延片、玻璃平板等敏感器件。每個(gè)晶圓吸筆都經(jīng)過(guò)測(cè)試,以確保符合Class 1潔凈要求,是晶圓鑷子的替代工具,對(duì)元件無(wú)損傷風(fēng)險(xiǎn),通過(guò)長(zhǎng)管和配件連接電池式電動(dòng)真空吸筆。Vitual晶圓吸盤包括Peek材質(zhì)和耐高溫鐵氟龍涂層,適合4寸、6寸、8寸及12寸晶圓拾取。
■ PEEK塑料吸盤,ESD防靜電,耐溫100℃,柄長(zhǎng)78.74mm
VMWT-A吸盤:長(zhǎng)寬尺寸35.56mm x 12.70mm,拾取 4” (100mm) wafers
VMWT-B吸盤:長(zhǎng)寬尺寸35.56mm x 33.02mm,拾取6” (150mm) wafers
VMWT-C吸盤:長(zhǎng)寬尺寸53.34mm x 35.56mm,拾取8” (200mm) wafers
(可訂購(gòu)上彎或下彎頭型號(hào),10°、20°、30°彎曲,如VMWT-A20D表示 20度向下彎曲,“U”上彎、“D”下彎)
(可訂購(gòu)左彎或右彎曲型號(hào),10°、20°彎曲,如VMWT-C20R表示向右彎曲20度,“L”左彎、“R”右彎)
VMWT-D用于處理更大尺寸的晶片,長(zhǎng)寬尺寸78.74mm x 53.34mm
另可選購(gòu)防止轉(zhuǎn)動(dòng)的適配頭VMWT-ADAPT-AR:ESD-Safe Anti Rotate Tip Adaptor
VWT-5R-AR:圓形12寸晶圓吸盤,空壓式晶圓吸筆,中心有孔減少接觸面,外經(jīng)127mm,處理12" 300mm晶圓
■ 鋁制鐵氟龍涂層吸盤(聚四氟乙烯),耐高溫250℃,直柄長(zhǎng)度76.20mm
VWT-100075PF耐高溫鐵氟龍晶圓吸筆頭,尺寸26.67mm x 19.05mm,厚3.30mm,處理4” (100mm) wafers,耐溫250℃
VWT-170110PF耐高溫鐵氟龍晶圓吸筆頭,長(zhǎng)寬尺寸43.18mm x 27.94mm,handles up to 6” (150mm) wafers
VWT-250125PF耐高溫鐵氟龍晶圓吸盤,長(zhǎng)寬尺寸63.50mm x 31.75mm,8” (200mm) wafers
VWT系列耐高溫特氟龍晶圓吸筆頭已被VHT系列替代,如VHT-170110-PF 6寸耐高溫吸筆頭
賽浦斯VIRTUAL晶圓吸盤規(guī)格文檔http://iamabigfatstupidface.com/download/201710/Virtual_Wafer_Tips.pdf
VPW6300-VWT5R-220:充電式,配VWT-5R-AR圓形晶圓吸盤,空壓式吸筆,處理12" 300mm晶圓
VPW6000AR-MW8充電式晶圓吸筆:指示燈提示電量,預(yù)防產(chǎn)晶掉落,8寸硅片等產(chǎn)品使用
PV4000A電池式晶圓吸筆:可更換9V直流電池,配2、4、6、8寸吸筆頭使用,符合防靜電規(guī)格
V3200-CLN-MW6電池式晶圓吸筆:內(nèi)置真空發(fā)生器不用外接氣源,9V電池可更換,配4~8寸吸筆頭,潔凈室標(biāo)準(zhǔn)